高纯氦气系统的难点不在介质危险性,而在泄漏率控制与供气稳定。本文从供气模式、接口最小充分配置、密封与装配质量、管线应力与振动、以及峰值流量与切换窗口反推缓冲容积等角度,给出可落地的工程清单,并强调清洁干燥、置换验证与取样路径的闭环控制,帮助降低氦气损耗、提升切换稳压能力与长期运行可靠性。
2026-02-13 admin